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六氟化硫(SF₆)
中文名:六氟化硫
英文名:Sulfur hexafluoride
CAS号:2551-62-4
熔点:-50.8℃
沸点:-63.8℃
蒸气压:21.5atm
产品等级:电子级:5N 工业级:4.5N、5N
电子级:47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工业级:6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)
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三氟化氮(NF₃)
中文名:三氟化氮
英文名:Nitrogen trifluoride
CAS号:7783-54-2
熔点:-208.5℃
沸点:-129℃
蒸气压:>1atm
产品等级:4.6N
规格 :47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)
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磷烷安全源(PH₃ AGS)
中文名:磷烷安全源
英文名:Phosphine AGS
CAS号:7803-51-2
熔点:-133℃
沸点:-87.7℃
蒸气压:53.32kpa(-98.3℃)
产品等级:5N7
规格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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砷化氢(AsH₃)
中文名:砷化氢
英文名:Arsine
CAS号:07784-42-1
熔点:-116℃
沸点:-62.5℃
蒸气压:1463kPa(20℃)
产品等级:6N、6N5
规格:40L
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三氟化硼安全源(BF₃ AGS)
中文名:三氟化硼安全源
英文名:Boron Trifluoride AGS
CAS号:07784-42-1
熔点:-126.8℃
沸点:-100℃
蒸气压:1013.25kPa(-58℃)
产品等级:3N
规格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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磷化氢(PH₃)
中文名:磷化氢
英文名:Phosphine
CAS号:7803-51-2
熔点:-133℃
沸点:-87.7℃
蒸气压:53.32kpa(-98.3℃)
产品等级:6N、6N5
规格:44L
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安全源砷烷(AsH₃ AGS)
中文名:砷烷安全源
英文名:Arsine AGS
CAS号:07784-42-1
熔点:-116℃
沸点:-62.5℃
蒸气压:1463kPa(20℃)
产品等级:5N5
规格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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